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高精度直線電機(jī)升降臺(tái)

產(chǎn)品資料下載:
產(chǎn)品型號(hào):PT-ZXZ 50
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品牌PDV/派迪威應(yīng)用領(lǐng)域綜合

產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào)PT-ZXZ 50PT-ZXZ 100
行程(mm)50100
負(fù)載(kg)44
分辨率(um)0.10.1
最小步進(jìn)量(um)0.30.3
單向重復(fù)定位精度/保證值(um)±0.5 or 1±0.5 or 1
單向重復(fù)定位精度/典型值(um)±0.2 or 0.6±0.3 or 0.6
雙向重復(fù)定位精度/保證值(um)±1 or 2±1 or 2
雙向重復(fù)定位精度/典型值(um)±0.5 or 1±0.5 or 1
定位精度/保證值(um)±2 or 4±2 or 4
定位精度/典型值(um)±1 or 2±1 or 2
最大速度(mm/s)100100
直線度(um)1010
平整度(um)1010
偏擺2020
俯仰2020
持續(xù)推力(N)17.617.6
峰值推力(N)8888
重量(kg)6.510.2
















※ 備注

1:水平放置下的中心垂直負(fù)載。

2:最小運(yùn)動(dòng)增量不等同于分辨率,最小運(yùn)動(dòng)增量是指運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動(dòng)的最小量。一般來說,系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運(yùn)動(dòng)增量。考慮傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和編碼器對(duì)系統(tǒng)誤差的影響,直線電機(jī)位移臺(tái)與步進(jìn)電機(jī)位移臺(tái)相比,其最小運(yùn)動(dòng)增量更加接近于分辨率。

3:精度測量數(shù)據(jù)是平臺(tái)在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數(shù)據(jù)。

4:典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南。

5:最大速度為典型值,根據(jù)負(fù)載和控制器的不同會(huì)有區(qū)別。


產(chǎn)品詳情:

高精度、結(jié)構(gòu)緊湊、集成靈活

直線電機(jī)垂直升降臺(tái),專為需要高精度垂直定位的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)。升降臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),具備高精度、高穩(wěn)定性、低噪音等特點(diǎn),結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,提供多種行程和配置選擇,滿足多樣化的應(yīng)用需求。


主要特點(diǎn):

多種行程可選,滿足更多應(yīng)用需求: 提供 50mm 和 100mm 兩種行程選擇,結(jié)構(gòu)緊湊,可靈活集成于各種空間受限的應(yīng)用場景。

精密結(jié)構(gòu),穩(wěn)定可靠: 采用集成式一體化交叉滾柱導(dǎo)軌和高品質(zhì)直線電機(jī),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)化安裝工藝,確保的運(yùn)動(dòng)精度和長期穩(wěn)定的可靠性,Pitch 和 Yaw 精度表現(xiàn)優(yōu)異。

高分辨率,精細(xì)控制: 升降臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),擁有的微步能力,配合菲克科技高性能控制器,可實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的精細(xì)定位,滿足對(duì)精度的追求。

兩種配重方案,適應(yīng)不同應(yīng)用環(huán)境: 可選配恒力彈簧或氣缸配重,滿足不同負(fù)載和速度需求,保證運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、一致性高。

靜音運(yùn)行,打造舒適環(huán)境: 靜音位移臺(tái),適用于對(duì)噪音敏感的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境和高性能工業(yè)場所。

強(qiáng)大軟件支持,輕松操控: 免費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)版 SDK,支持 Window、Linux 環(huán)境下多種開發(fā)語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等),方便用戶進(jìn)行二次開發(fā)和系統(tǒng)集成。

高性能控制器,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜運(yùn)動(dòng): 控制器支持圓弧插補(bǔ)、直線插補(bǔ)、位置記憶和任意圖形導(dǎo)入,可滿足各種復(fù)雜運(yùn)動(dòng)控制需求。(選配)

靈活通訊,無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制,實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定的數(shù)據(jù)傳輸。


產(chǎn)品應(yīng)用:

精密Z軸 Precision Z-axis、儀器設(shè)備 High-end Equipment、半導(dǎo)體檢測 Semiconductor Inspection、半導(dǎo)體切割 Semiconductor Cutting



性能實(shí)測:

產(chǎn)品尺寸:



 

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